唐武德元年(618)改义宁郡为沁州,沁源、绵上2县俱属之,二年于今县境西置招远县,亦属沁州,三年废招远县。天宝元年(742)改沁州为阳城郡,乾元元年(758)复为沁州,2县俱属之。
宋属威胜军。庆历六年(1046)绵上县徙治今县城北35千米绵上村。金元光二年(1223)于今县境置谷州。蒙古初年废谷州,至元十年(1273)绵上县废入沁源县,仍属沁州。1949年属长治专区,后属晋东南专区和地区。1985年属长治市。
1997年,全县面积2554平方千米,人口16万人,辖4个镇、18个乡:城关镇、郭道镇、王和镇、柏子镇、法中乡、柏木乡、中峪乡、五龙川乡、李元乡、韩洪乡、鱼儿泉乡、定阳乡、交口乡、白狐窑乡、官滩乡、景凤乡、赤石桥乡、庄儿上乡、聪子峪乡、王陶乡、花坡乡、王凤乡。县政府驻城关镇。
2000年第五次人口普查,沁源县总人口154305人,其中:城关镇35273人,郭道镇16753人,柏子镇8937人,王和镇10457人,中峪乡5549人,五龙川乡1314人,法中乡7715人,柏木乡1318人,交日乡6920人,白狐窖乡2570人,聪子峪乡5966人,定阳乡2444人,韩洪乡9519人,鱼儿泉乡1270人,官滩乡3745人,景风乡3144人,赤石桥乡5515人,庄儿上乡2358人,王陶乡9836人,王凤乡2201人,李元乡10580人,花坡乡921人。
2001年区划调整后,全县辖5个镇、9个乡:沁河镇、郭道镇、灵空山镇、王和镇、李元镇、中峪乡、法中乡、交口乡、聪子峪乡、韩洪乡、官滩乡、景风乡、赤石桥乡、王陶乡。
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