1950年分设绥东、绥中、绥西3专区及伊克昭盟蒙古族自治区、乌兰察布盟蒙古族自治区，直辖归绥、包头2市及土默特旗、东四旗中心旗、镶蓝镶红联合旗、正黄旗4旗(镶蓝镶红联合旗正黄旗均由东四旗中心旗领导)。

    1951年绥东专区改名集宁专区，绥中专区改名萨县专区，绥西专区改名陕坝专区。

    1952年绥远省改由华北行政委员会领导。撤销萨县专区，并入集宁专区。辖2专区、2自治区。

    1954年3月6日绍远省建制撤销，原辖区并入内蒙古自治区。

归绥市
    1949年归绥市为绥远省辖市，绥远省人民政府驻地。
    1954年归绥市划归内蒙古自治区。

包头市
    l949年包头市为绥远省辖市。
    1954年包头市划归内蒙古自治区。

绥东专区、集宁专区
    1950年设绥东专区，专署驻集宁县。辖集宁、陶林、兴和、丰镇、凉城、龙胜(驻卓资山)、武东(由武川县东部析置，驻旗下营)等7县及平地泉镇。
    1951年绥东专区改名集宁专区。
    1952年集宁专署驻平地泉镇。龙胜县改称卓资县。原萨县专区所属萨拉齐、包头、固阳、武川、归绥、和林格尔、清水河、托克托等8县并入集宁专区。辖15县、1镇。
    1954年集宁专区划归内蒙古自治区。

绥中专区、萨县专区
    1950年设绥中专区，专署驻萨拉齐县。辖萨拉齐、包头、固阳、武川(武西县恢复原名)、归绥、和林格尔、清水河、托克托等8县。
    1951年绥中专区改名萨县专区。
    1952年撤销萨县专区，原萨县专区所属各县并入集宁专区。

绥西专区、陕坝专区
    1950年设绥西专区，专署驻陕坝镇。辖米仓(驻三道桥)、临河(驻解放镇)、狼山(驻永安堡)、宴江(驻塔尔湖畔)、五原、安北(驻扒子补隆)等6县及陕坝镇。
    1951年绥西专区改名陕坝专区。
    1953年米仓县改为杭锦后旗；宴江县改为达拉特后旗。陕坝专区辖．4县、2旗、1镇。
    1954年陕坝专区划归内蒙古自治区。

伊克昭盟蒙古族自治区
    1950年设伊克昭盟蒙古族自治区，自治区人民政府驻东胜县。辖东胜县及准格尔旗(驻沙圪堵)、达拉特旗(驻树林召)、郡王旗、杭锦旗、扎萨克旗(驻新街镇)、鸟审旗(驻达布察克镇)、鄂托克旗(驻乌兰哈垃嘎苏，即鸟兰镇)等7旗，达尔扈(驻伊金霍洛)、通格朗2区。
    1952年达尔扈与通格朗2区改由扎萨克旗领导。
    1954年伊克昭盟蒙古族自治区划归内蒙古自治区。

乌兰察布盟蒙古族自治区
    1950年设乌兰察布盟蒙古族自治区，自治区人民政府驻包头市。辖四子王旗(驻昌汗博拉更)、乌拉特前旗(又称西公旗，驻哈拉干补隆)、乌拉特中旗(又称中公旗，驻本坝太庙)、乌拉特后旗(又称东公旗，驻管家窑子)、茂明安旗(驻喜拉驾拐)、达尔罕旗(驻昌汗厚)等6旗及乌兰花、五当召(驻巴达盖)2区。
    1951年原五当召区改设石拐沟矿区。
    1952年由乌拉特中旗、乌拉特后旗合并，设乌拉特中后联合旗(驻海流图)；由达尔罕旗、茂明安旗合并，设达尔罕茂明安联合旗(驻百灵庙)。撤销乌兰花区，四子王旗迁驻乌兰花镇。乌兰察布盟蒙古族自治区辖4旗、l矿区。
    1953年集宁专区所属固阳县划归乌兰察布盟蒙古族自治区；乌兰察布盟蒙古族自治区人民政府迁驻固阳县城。辖l县、4旗、1矿区。
    1954年乌兰察布盟蒙古族自治区划归内蒙古自治区。