西周为郇国，亦称郇瑕，春秋时有桑泉、猗氏、解梁、令狐、猗氏城邑。西汉于今县境置猗氏县和解县，属河东郡。北魏时于今临晋镇附近置温泉县。太和十一年（487）解县改北解县，猗氏县改北猗氏县。西魏恭帝二年（555）北猗氏县改桑泉县。北周废温泉县，明帝时桑泉县改猗氏县，以北解县废入，属汾阴郡。
隋开皇三年（583）改属蒲州，十六年复置桑泉县。大业初年于桑泉县置河东郡，与猗氏县俱属之。后猗氏县治徙今城关。唐武德元年（618）废河东郡，改置蒲州，仍治桑泉县，与猗氏县俱属之。三年蒲州治徙今永济市境；复置温泉县，属蒲州。九年温泉县废入桑泉县。天宝十二年（753）桑泉县改临晋县，治今临晋镇，与猗氏县俱属河中府。
明属蒲州。清雍正六年（1728）属蒲州府。民国初年废府，2县属河东道，道废后直属省。1949年属晋南区运城分区，隶陕甘宁边区。后复归山西省，属运城专区。1954年2县合并，取原县名首字定名临猗，县政府驻原猗氏县城关，属晋南专区。1958年并入运城县。1960年复置。1967年属晋南地区。1970年属运城地区。2000年属地级运城市。
原辖7个镇、13个乡：城关镇、牛杜镇、嵋阳镇、临晋镇、孙吉镇、东张镇、七级镇、楚侯乡、李汉乡、庙上乡、角杯乡、西张吴乡、南赵乡、北辛乡、耽子乡、卓里乡、阎家庄乡、北景乡、大阎乡、三管乡。
1997年末，临猗县面积1350平方千米，人口539001人。辖9个镇、11个乡：城关镇、牛杜镇、嵋阳镇、临晋镇、孙吉镇、东张镇、七级镇、卓里镇、三管镇、楚侯乡、李汉乡、庙上乡、角杯乡、西张吴乡、南赵乡、北辛乡、耽子乡、阎家庄乡、北景乡、大阎乡。共有373个行政村，550个自然村，2153个村民小组。县政府驻城关镇。
2000年第五次人口普查，临猗县常住总人口536518人，其中：城关镇69376人，牛杜镇34222人，嵋阳镇26467人，临晋镇38934人，七级镇28420人，东张镇33211人，孙吉镇47074人，卓里镇14215人，三管镇18490人，李汉乡11487人，楚候乡18087人，庙上乡32081人，角杯乡23656人，西张吴乡15449人，南赵乡6950人，北辛乡32234人，耽子乡22493人，北景乡21060人，阎家庄乡23307人，大阎乡19305人。
2001年乡镇区划调整后，全县辖9个镇、5个乡：猗氏镇、嵋阳镇、临晋镇、七级镇、东张镇、孙吉镇、三管镇、牛杜镇、耽子镇、楚侯乡、庙上乡、角杯乡、北辛乡、北景乡，以及卓里、阎家庄2个工贸区。县政府驻猗氏镇。
2003年，全县总人口54.8万人。
2010年第六次人口普查，临猗县常住总人口572508人，其中，猗氏镇102090人，嵋阳镇26948人，临晋镇38100人，七级镇28865人，东张镇33604人，孙吉镇54976人，三管镇18782人，牛杜镇34970人，耽子镇23227人，楚候乡27967人，庙上乡31574人，角杯乡40263人，北辛乡30962人，北景乡41220人，卓里工贸区14454人，闫家庄工贸区24506人。
2015年末，临猗县辖9个镇、5个乡（合计14个），19个居委会、375个村委会（合计394个）。