1994年4月23日，青岛市调整市辖区行政区划：设立城阳区。将崂山区的城阳、惜福、夏庄、流亭、棘洪滩、上马、红岛、河套8个镇划归城阳区。区人民政府驻城阳镇。
1997年，城阳区面积553.2平方千米，人口41.3万人。辖8个镇：城阳镇，流亭镇，夏庄镇，惜福镇，棘洪滩镇，上马镇，河套镇，红岛镇。区政府驻城阳镇。
2000年第五次人口普查，城阳区总人口494007人，其中：城阳镇116388人、流亭镇89893人、夏庄镇78445人、惜福镇40141人、棘洪滩镇45227人、上马镇44979人、河套镇40761人、红岛镇38173人。
2001年底，全区总面积553.2平方千米。总人口43.2万人，其中非农业人口5.51万人。辖8个街道，230个行政村（居委会）（另一出处：4个居委会、1个家委会、226个行政村）。
2002年底，全区总面积553.2平方千米。总人口43.6万人，其中非农业人口5.87万人；少数民族3939人。辖8个街道，230个行政村（居委会）（另一出处：13个社区、226个行政村）。
2003年底，全区总面积553.2平方千米。总人口44.7万人，其中非农业人口7.03万人。辖城阳、惜福、夏庄、流亭、棘洪滩、上马、红岛、河套8个街道，226个行政村、16个居委会。
2004年，全区辖8个街道、46.37万人（其中非农业人口8.56万人），总面积553.2平方千米。城阳街道：辖38个社区（村）、10.5万人，面积48.7平方千米。流亭街道：辖28个社区（村）、6.3万人，面积51.5平方千米。夏庄街道：辖51个社区（村）、6.8万人，面积84平方千米。惜福镇街道：辖32个社区（村）、4.3万人，面积56.4平方千米。棘洪滩街道：辖28个社区、4.5万人，面积70.6平方千米。上马街道：辖26个社区（村）、4.3万人，面积47.8平方千米。河套街道：辖19个社区、4.2万人，面积44平方千米。红岛街道：辖18个社区、3.8万人，面积28.7平方千米。（数据来源：《青岛年鉴2005版》）
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