三国吴永安六年（263年）春，析南野县南乡地设置始兴县，“始兴”一名始此。甘露元年（265年）冬，进以桂阳南部置始兴郡，始兴县隶属始兴郡。隋开皇九年（589年）属广州总管府。唐贞观元年（627年）分广州曲江等地置韶州，始兴县属之。南汉乾和四年（946年）置“雄州”，始兴县属雄州。
宋开宝四年（971年），更名“南雄州”。元至元十五年（1278年），改南雄州为路。明洪武元年（1368年）改南雄路为府。清嘉庆十二年（1807年），改南雄府为直隶州，隶广东承宣布政使司，始兴县属南雄直隶州。1911年，始兴县直隶广东省。1914年，始兴县属岭南道。1920年，属北江善后公署，北江绥靖公署。1948年为省直辖。
1949年9月，成立始兴县人民政府，属北江临时人民行政委员会，1950年1月27日，更属北江人民行政督察专员公署。1952年11月至1956年，属粤北行政公署，后改属韶关专员公署。1958年12月后，始兴、南雄两县合并为南雄县。1960年10月15日恢复始兴县建制，属韶关地区。1983年6月，以市辖县，始兴县属韶关市。
1996年，始兴县面积2174平方千米，人口约22.8万人。辖10个镇、5个乡：太平镇、马市镇、司前镇、江口镇、沈所镇、罗坝镇、城南镇、顿岗镇、隘子镇、澄江镇、北山乡、刘张家山乡、花山乡、都亨乡、深渡水瑶族乡。县政府驻太平镇。
2000年第五次人口普查，始兴县常住总人口205684人，其中：太平镇49109人、马市镇32098人、澄江镇12260人、顿岗镇19885人、罗坝镇9692人、司前镇12400人、隘子镇15662人、城南镇18229人、沈所镇9480人、江口镇5325人、花山乡5761人、都亨乡4377人、刘张家山乡3158人、北山乡1932人、深渡水瑶族乡6316人。
2002年，始兴县辖10个镇（太平、马市、澄江、顿岗、罗坝、司前、隘子、城需、沈所、江口）、4个乡（都亨、花山、北山、刘张家山）、1个民族乡（深渡水瑶族乡），142个村委会、1个居委会。
？年，撤销北山乡，并入太平镇；撤销刘张家山乡，并入罗坝镇；撤销花山乡，并入沈所镇。2005年1月26日，广东省民政厅（粤民区[2005]8号）批准：撤销江口镇，并入太平镇；撤销都亨乡，并入罗坝镇。调整后，始兴县辖太平、马市、澄江、顿岗、罗坝、司前、隘子、城南、沈所9个镇和深渡水瑶族乡。
2008年末，始兴县户籍总人口246653人，其中非农业人口50861人。2009年末，始兴县辖9个镇、1个民族乡，14个居委会、113个行政村。县政府驻太平镇。
2010年第六次人口普查，始兴县常住205452人，总人口其中：太平镇70422人，马市镇27490人，澄江镇10662人，顿岗镇18763人，罗坝镇14618人，司前镇11372人，隘子镇13354人，城南镇17911人，沈所镇14589人，深渡水乡6271人。
2011年末，始兴县面积2174.12平方千米。常住人口25.48万人；户籍人口254776人，其中农业人口193774人。辖9个镇、1个乡，113个行政村、14个居委会。
2014年，马市镇被列为全国重点镇。