自秦汉置县，隶南海郡，时地域广阔，不仅包括今整个潮汕地区，还包括梅县、大埔和福建的龙溪、漳浦等地。晋时改隶东官郡、义安郡。隋始设潮洲，今揭阳市境属之。宋复置揭阳县。1991年撤县设市。
1999年末，揭阳市辖榕城区和揭东、惠来、揭西3县，代管普宁市（县级），以及东山区管委会、揭阳经济开发试验区、普宁华侨管理区和大南山华侨管理区（均赋予部分县级管理职能）。共有16个街道、71个镇、10个乡，15个农场。
2000年第五次人口普查，揭阳市常住总人口5237405人，其中：榕城区633570人、揭东县1068986人、揭西县716789人、惠来县961658人、普宁市1856402人。
2002年末，揭阳市辖1个市辖区、3个县，代管1个县级市，共有12个街道、68个镇、10个乡。2003年，揭阳市对榕城、普宁、揭西、惠来的部分乡镇行政区划进行调整。
2005年末，揭阳市辖1个市辖区、3个县，代管1个县级市，共有16个街道办事处、65个镇、2个乡。2011年末，揭阳市辖1个市辖区、3个县，代管1个县级市，共有18个街道办事处、63个镇、2个乡。
2010年第六次人口普查，揭阳市常住总人口5884347人，其中：榕城区746354人，揭东县1159118人，揭西县825727人，惠来县1097596人，普宁市2055552人。
2012年12月17日，《国务院关于同意广东省调整揭阳市部分行政区划的批复》（国函[2012]207号）同意：一、撤销揭东县，设立揭阳市揭东区，将揭阳市榕城区的磐东街道划归揭东区管辖，以原揭东县（不含地都镇、砲台镇、登岗镇）和榕城区磐东街道的行政区域为揭东区的行政区域。揭东区人民政府驻曲溪街道金溪大道南侧1号。二、将原揭东县的地都镇、砲台镇、登岗镇划归榕城区管辖。调整后，揭阳市区规模扩大5.6倍，将从原来的181平方千米增加到1031平方千米。
2012年末，揭阳市总面积5240平方千米（其中市区面积1031平方千米）；户籍人口673.94万人；常住人口595.59万人，其中城镇人口291.84万人。
2014年，榕城区渔湖镇、砲台镇，揭东区锡场镇，揭西县棉湖镇，惠来县葵潭镇，普宁市洪阳镇共6个镇被列为全国重点镇。